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详细描述

产品名称：光谱型成像橢偏仪IMAGING ELLIPSOMETER EP³SE

生产单位：德国Accurion公司

型　　号：EP³

特    点：

可提供丰富的附件单元，满足不同应用领域的需求

 

技术指标：

原理：PCSA配置的自动回零（Auto-Nulling）图像椭圆光度法
椭圆光度分辨率：Delta/Psi精度 0.001 deg　　绝对精度 0.01 deg
立体分辨率：1-35μm（平面解析精度：1μm，纵向解析精度：1 nm）
激光器波长:532 nm(可选405/488/514/543/594/633/650/690/785/830/905nm)
灵敏度:0.05~0.2nm
解析时间:快，22×73mm在1.2μm精度下只需不到一分钟的时间
图像系统:768 x 572像素CCD照相机
电子组件:
内置基于Pentium芯片的控制器
带Matrox Meteor II 抓图器
内置Linux操作系统
电源:电压100-240 VAC, 50/60Hz 最大电流10 A

 

仪器（设备）所属领域：分析测试仪器

应用领域：高校材料、化工等学院实验室，大型企业实验室。

联系方式：电话：021-50550642/50550643   传真：021-68063576
网址：http://www.linseischina.com   E－mail：info@chanceint.com