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详细描述

产品名称：FJL系列磁控与离子束复合系统

生产单位：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
型　　号：FJL-560

特    点：设备用于纳米级单层及多层功能膜—硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜、铁磁膜和磁性薄膜等的制备。

技术指标：

1、极限压力：≤6.67x10^-5 Pa (经烘烤除气后)

2、恢复真空时间：40分钟可达到6.6x10^-4 Pa

3、基片水冷加热公转台：样品尺寸：Ф30mm，可放置6片

运动方式：0～360°住复回转

加热：基片加热最高温度600°C±1°C

基片负偏压：-200V

4、磁控靶组件：靶材尺寸Φ60mm；靶与样品距离40～80mm可调

5、四工位转靶组件：靶材尺寸：70×70mm

价    格：￥40万

仪器（设备）所属领域：真空应用科研类设备

应用领域：可广泛应用于半导体、微电子及新材料领域。

联系方式：电话：024-23826855、6860、6899 传真：024-23826856
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